升级EUV光刻机 SK海力士量产1αnm工艺DDR5内存：单颗24Gb

SK海力士日前发布了2021年Q4财报，当季营收达12.377万亿韩元（1027.10亿美元），上一年同期为7966亿韩元，上一季度为11.805万亿韩元，单季营收首次冲上12万亿韩元。

在SK海力士的业务中，DRAM内存业务占总收入比例为71%，NAND业务占总营收比例为25%，MCP业务占比19%，其他业务占比约4%。

在该季度中，SK海力士的内存技术取得了重要突破，开始量产基于EUV技术的1αnm工艺DDR5内存芯片，核心容量24Gb，也就是3GB，轻松实现单条容量24GB甚至48GB的内存条。

1αnm工艺内存虽然使用的EUV光刻机成本高昂，但是有助于提高生产效率，是无法绕过的升级过程，2022年中SK海力士也会继续扩大1αnm工艺内存生产，基于EUV技术的1αnm产量预计到年底达到25%。

（王治强 HF013）