全球首次 日本公司量产新一代100mm“氧化镓”晶圆

在新一代半导体材料中，日本公司又一次走在前列——日前Novel Crystal Technology全球首次量产了100mm（4英寸）的“氧化镓”晶圆。

据日本媒体报道，Novel Crystal Technology公司由日本电子零部件企业田村制作所和AGC等出资成立，主要研发、生产新一代半导体技术。

该公司日前量产了以新一代功率半导体材料“氧化镓”制成的100mm晶圆，这还是全球首次。

这次量产的新一代晶圆可以使用原有100mm晶圆的设备制造新一代产品，有效保护了企业的投资，预计2021年内开始供应晶圆。

据介绍，氧化镓的别名是三氧化二镓，氧化镓（Ga2O3）是一种宽禁带半导体，也是一种透明的氧化物半导体材料，在光电子器件方面有广阔的应用前景 ，被用作于Ga基半导体材料的绝缘层，以及紫外线滤光片。

据市场调查公司富士经济于2019年6月5日公布的Wide Gap 功率半导体元件的全球市场预测来看，2030年氧化镓功率元件的市场规模将会达到1542亿日元（约人民币92.76亿元），这个市场规模要比氮化镓功率元件的规模（1085亿日元，约人民币65.1亿元）还要大。

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（王治强 HF013）